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产品简介
产品简介
对于大数额订单，BASIS系列OEM气体质量流量控制器，能为用户提供可重复、可靠、经济的气体流量控制方案。专为原始设备制造商（OEM）无应力设备集成而设计的BASIS轻便灵巧、内置高精度MEMS传感器、并具有艾里卡特特有的快速阀门控制。
可靠-BASIS系列OEM气体质量流量控制器绝不会让您感到失望，NIST可溯源的精度与重复性使其在工作第700天时仍像**天一样。
灵敏-您不会再因为压力峰值而毁了一整天。BASIS系列OEM气体质量流量控制器具有业内**的控制速度和阀门调节，能带给用户的益处将远远超出预期。
兼容-BASIS系列OEM气体质量流量控制器应用范围相当广，轻便灵巧、多气体标定、模拟及数字双重通讯将为您的项目设计提供更大的灵活性。
性能指标
| 精度 | ± 1.5 %R.D and ± 0.5 %F.S |
重复度 | ± 0.5 % R.D |
| 控制范围 | 1–100% F.S ( 0 -100SCCM ) ；0.5–100% F.S ( 0 -1000SCCM；0-20SLM；0-50SLM ) |
| 响应时间 | 优于100 ms |
| 工作温度 | 0–50°C |
预热时间 | 70 ms |
电气参数
| 模拟通讯 | 4–20 mA, 0–5 VDC, |
| 数字通讯 | RS-232； RS-485 ；Modbus RTU协议 |
| 电 源 | 10 - 30 VDC ； 200 mA |
机械参数
| 阀门类型 | 常闭 |
| 阀体材质 | 不锈钢 |
| 密封材质 | FKM |
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