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产品简介
MCS 系列耐腐蚀气体质量流量控制器可快速达到设定值并保持对 128 多种气体（包括 32 种腐蚀性气体）的质量流量、体积流量或压力的稳定控制。
腐蚀性气体兼容 - 与32 种纯腐蚀性气体和大多数制冷剂气体兼容的接液材料。
用途广泛且准确 - 对128 种以上的气体和 20 种自定义混合物进行实时控制，具有 NIST 可追溯精度至 ±（读数的 0.4% + 满量程的 0.2%）。
快速控制，多变量数据 - 通电后的毫秒响应时间，以您选择的工程单位控制质量流量、体积流量或压力，并显示瞬时流量、压力和温度读数。
易于集成 - 定制过程端口和电气连接器，以及您选择的 EtherNet/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU 和 TCP/IP）或串行通信，以便轻松集成到您的工业过程中。
性能指标
| 精度 | ± 0.8 %R.D and ± 0.2 %F.S |
重复度 | ± 0.2 %F.S |
| 控制范围 | 1–100% F.S |
| 控制响应时间 | （T63）用户可调：0.5 SCCM-5 SCCM :100-4000ms；10 SCCM-20 SLM :30-4000ms；50 SLM-5000 SLM：30-150ms |
| 显示响应时间 | 用户可调：0.5 SCCM-5 SCCM :100-4000ms；10 SCCM-20 SLM :<10ms；50 SLM-5000 SLM：65-255ms |
| 温度精度 | ±0.75°C |
| 工作温度 | −10–60°C |
| 压力精度 | ±0.5%R.D |
预热时间 | <1 s |
电气参数
| 模拟通讯 | 4–20 mA, 0–5 VDC, 1–5 VDC, 0–10 VDC |
| 数字通讯 | RS-232； RS-485 ；Modbus RTU (over RS-232 or RS-485), Modbus TCP/IP, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, Profibus |
| 电气接口 | 6 pin locking, 8 pin mini-DIN, 8 pin M12, DB-9, DB-15 |
| 电 源 | 12 - 30 VDC ； 250 mA，1 A，2 A额外加 40 mA（ 4-20 mA ） |
机械参数
| 阀门类型 | 常闭 |
| 密封材质 | 316L、303、和430FR不锈钢、FFKM（标准）可根据特殊气体选用FKM或EPDM，R阀门增加410不锈钢 |
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